| 发明名称 |
PLASMA PRODUCTION DEVICE AND METHOD AND RF DRIVER CIRCUIT WITH ADJUSTABLE DUTY CYCLE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1689907(A4) |
申请公布日期 |
2008.07.23 |
| 申请号 |
EP20040755834 |
申请日期 |
2004.06.21 |
| 申请人 |
PLASMA CONTROL SYSTEMS LLC |
发明人 |
PRIBYL, PATRICK |
| 分类号 |
C23C16/00;C23F1/02;H01Q1/26;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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