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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1440179(A4) 申请公布日期 2008.07.23
申请号 EP20020794855 申请日期 2002.08.07
申请人 FIRST SOLAR, INC 发明人 FAYKOSH, GARY, T.;FOOTE, JAMES, B.;HINKLE, JAMES, E.
分类号 C23C16/44;C03C17/00;C23C16/54;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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