具有环状支撑物的凸块结构及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有环状支撑物的凸块结构，其适于配置于一基板上。此基板具有至少一接垫与一保护层，其中保护层具有至少一开口，且开口暴露出接垫的一部分。此具有环状支撑物的凸块结构包括一球底金属层、一凸块以及一环状支撑物，其中球底金属层配置于保护层上，并覆盖保护层所暴露出的接垫。凸块配置于接垫上方的球底金属层上，且凸块的底面的直径小于凸块的顶面的直径。此外，环状支撑物配置于凸块的周围，并与凸块接触，且环状支撑物的材质为光阻材料。此凸块结构不易出现底切效应。

主权项

1.一种具有环状支撑物的凸块结构，适于配置于一基板上，该基板具有至少一接垫与一保护层，其中该保护层具有至少一开口，且该开口暴露出该接垫的一部分，该具有环状支撑物的凸块结构包括：一球底金属层，配置于该保护层上，并覆盖该保护层所暴露出的该接垫；一凸块，配置于该接垫上方的该球底金属层上，且该凸块的底面的直径小于该凸块的顶面的直径；以及一环状支撑物，配置于该凸块的周围，并与该凸块接触，且该环状支撑物的材质为光阻材料。