发明名称 |
光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板及其制备方法 |
摘要 |
光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板及其制备方法,其结构形式是以非金属红外吸收膜为下层、以金属镀层为上层,形成单层膜结构;其结构特征是在所述红外吸收膜的底部,设置抗弯曲加强筋,所述抗弯曲加强筋与所述非金属红外吸收膜为同种材质或不同种材质。本发明以较为简单的结构形式解决了红外吸收板在厚度与平整度之间所存在着矛盾,从而更进一步提高了FPA性能。本发明制备工艺简单、易于实施。 |
申请公布号 |
CN101226081A |
申请公布日期 |
2008.07.23 |
申请号 |
CN200810020557.6 |
申请日期 |
2008.02.01 |
申请人 |
中国科学技术大学 |
发明人 |
张青川;史海涛;陈大鹏;焦斌斌;伍小平 |
分类号 |
G01J5/02(2006.01);B81B7/02(2006.01);B81C1/00(2006.01) |
主分类号 |
G01J5/02(2006.01) |
代理机构 |
安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 |
代理人 |
何梅生 |
主权项 |
1.光学读出热型红外图像传感器中加强型红外吸收板,其结构形式是以非金属红外吸收膜(7)为下层、以金属镀层(8)为上层,形成单层膜结构;其结构特征是在所述红外吸收膜(7)的底部,设置抗弯曲加强筋,所述抗弯曲加强筋与所述非金属红外吸收膜(7)为同种材质或不同种材质。 |
地址 |
230026安徽省合肥市金寨路96号 |