| 摘要 |
<p>Die Erfindung beschreibt eine mikromechanische Vorrichtung bzw. ein Verfahren zur Herstellung dieser mikromechanischen Vorrichtung, bei der die Vorrichtung ein Gehäuse mit wenigstens einem ersten und einem zweiten Bereich aufweist. Dabei ist vorgesehen, dass der erste Bereich des Gehäuses wenigstens ein Bauelement besitzt. Dieses Bauelement kann dabei aus einer elektronischen, einer elektrischen und/oder einer mechanischen Komponente bestehen. Darüber hinaus ist vorgesehen, dass der erste Bereich mit einer Einfassung umgeben ist, die wenigstens teilweise mit einem Verfüllmaterial aufgefüllt ist. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass der erste Bereich weitestgehend mit dem Verfüllmaterial aufgefüllt ist, die maximale Verfüllungshöhe des ersten Bereichs durch die Einfassung vorgegeben ist und nicht überschritten werden kann. Darüber hinaus ist vorgesehen, dass wenigstens ein Teil des Bauelements vom Verfüllungsmaterial bedeckt wird. Dabei kann vorgesehen sein, dass die Oberseite des Bauelements oder lediglich ein Teil der Seite des Bauelements mit dem Verfüllungsmaterial bedeckt ist. Dies kann beispielsweise bedeuten, dass das Bauelement über die Einfassung hinaus ragt oder eine Oberseite aufweist, die keine Bedeckung mit dem Verfüllungsmaterial zur Aufrechterhaltung der Funktionsweise erlaubt.
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