一种金刚石磨抛片的制备方法

摘要

本发明公开了一种金刚石磨抛片的制备方法，它是基于化学凝胶原理将含有金刚石超细微粉的藻酸钠盐溶液滴到含有Ca²⁺的溶液中制备成金刚石凝胶球，然后将上述凝胶球加入粘结剂粘结起来制备成磨抛片。本发明所提供的方法可从根本上解决金刚石微粉在固结过程中的团聚问题，从而可以实现金刚石工具的高效磨抛加工硅片。

主权项

1.一种金刚石磨抛片的制备方法，其特征在于：将含有金刚石超细微粉的藻酸钠盐溶液滴到含有Ca2+的溶液中制备成金刚石凝胶球，然后将上述凝胶球加入粘结剂粘结起来，将上述粘结好的凝胶球放入烘箱中在60℃进行烘干制备成磨抛片。