| 主权项 |
1.一种激光掩膜投影精细加工系统，包括激光器、扩束器、扫描器、掩膜、成像透镜、被加工件、工作台；其特征在于还包括光吸收器(15)、扫描器(14)中包括X轴反射镜(20)、Y轴反射镜(21)；在激光器(12)发射的激光束的光轴上，从右至左依次置有扩束器(13)、扫描器(14)；扫描器(14)中的X轴反射镜(20)的反射面与水平面垂直，并与激光束的光轴成45°角安装，能沿光轴方向移动一定的距离，将激光束沿传播方向折反90°传播，X轴反射镜(20)的入射激光束和反射激光束所构成的平面保持水平，在折反的激光束传播方向上置有Y轴反射镜(21)，Y轴反射镜(21)与水平面夹角为45°，Y轴反射镜(21)将其入射激光束折反90°传播，反射的激光束传播方向垂直于水平面，Y轴反射镜(21)能沿Y轴移动一定的距离，在Y轴反射镜(21)反射的激光束的光轴上依次置有掩膜(16)、成像透镜(17)、被加工件(18)；掩膜(16)与光轴之间的夹角采用两种，90°角或45°角；成像透镜(17)与光轴垂直安装，在掩膜(16)与光束成45°角状态时，掩膜(16)的反射光方向上置有光吸收器(15)；被加工件(18)的加工表面置于成像透镜(17)的像平面上，被加工件(18)的加工表面与掩膜(16)的面在45°角或90°角两种状态下都保持平行，被加工件(18)置于工作台(19)上。 |
