| 发明名称 | 蒸发固体有机金属化合物的方法 | ||
| 摘要 | 一种蒸发固体有机金属化合物的方法，其中所述方法包括将固体有机金属化合物填充到容器中，将载气引入到容器，并放出包含有机金属化合物的气体，其中所述固体有机金属化合物是团粒状，并包含惰性载体。 | ||
| 申请公布号 | CN101225512A | 申请公布日期 | 2008.07.23 |
| 申请号 | CN200710167494.2 | 申请日期 | 2007.10.29 |
| 申请人 | 住友化学株式会社 | 发明人 | 乾胜美;井手直行;高桥基 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01);C30B25/14(2006.01) | 主分类号 | C23C16/448(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 郇春艳;郭国清 |
| 主权项 | 1.一种蒸发固体有机金属化合物的方法，其中所述方法包括将固体有机金属化合物填充到容器中，将载气引入到容器，并放出包含有机金属化合物的气体，其中所述固体有机金属化合物是团粒状，并包含惰性载体。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||