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发明名称 COPOLYMER AND UPPER FILM-FORMING COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP1806370(A4) 申请公布日期 2008.07.23
申请号 EP20050787854 申请日期 2005.09.28
申请人 JSR CORPORATION 发明人 CHIBA, TAKASHI;KIMURA, TORU;UTAKA, TOMOHIRO;NAKAGAWA, HIROKI;SAKAKIBARA, HIROKAZU;DOUGAUCHI, HIROSHI
分类号 C08F220/10;G03F7/11;H01L21/027 主分类号 C08F220/10
代理机构 代理人
主权项
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