轴承机构及应用其的制程机台

摘要

一种轴承机构及应用其的制程机台。轴承机构使用在一液体中。轴承机构包括一第一转动环、一第二转动环、数个滚动元件及一轴封元件。第一转动环用以耦接一轴心并与轴心同步转动。第二转动环设置于第一转动环的外围，用以耦接一传动元件并与传动元件同步转动。滚动元件设置于第一转动环及第二转动环之间。第一转动环及第二转动环借由这些滚动元件相对转动，并使传动元件及轴心相对转动。轴封元件紧密抵靠第二转动环的一侧面，但不抵靠第一转动环，用以避免液体经由侧面渗入第一转动环及第二转动环之间。

主权项

1.一种轴承机构，使用在一液体中，该轴承机构至少包括：一第一转动环，用以耦接一轴心并与该轴心同步转动；一第二转动环，设置于该第一转动环的外围，用以耦接一传动元件并与该传动元件同步转动；多个滚动元件，设置于该第一转动环及该第二转动环之间，该第一转动环及该第二转动环借由该些滚动元件相对转动，并使该传动元件及该轴心相对转动；以及一轴封元件，紧密抵靠该第二转动环的一侧面，但不抵靠该第一转动环，用以避免该液体经由该侧面渗入该第一转动环及该第二转动环之间。