一种光刻机投影物镜安装调平装置

摘要

本发明提供一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜。它包括安装基板，三个柔性块，安装件和固定件。柔性块前端通过固定件与投影物镜的安装法兰连接，柔性块底座通过安装件安装在安装基板；柔性块前端中部开有第一狭长槽，柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽，柔性块后端装有一调节杆。该调平装置采用三个等圆周均布的柔性块，调节柔性块的调节杆实现柔性块前端的翘起和压下以调节投影物镜水平度，并利用两狭长槽形成的弹性支点避免外界的振动和冲击给投影物镜带来的损害。

主权项

1.一种光刻机投影物镜安装调平装置，用于调平带有安装法兰的投影物镜，其特征在于，所述调平装置包括安装基板，若干柔性块，安装件和固定件，所述柔性块前端通过固定件与所述投影物镜的安装法兰连接，所述柔性块底座通过安装件安装在所述安装基板上；所述柔性块前端开有第一狭长槽，所述柔性块后端与第一狭长槽相向方向开有第二狭长槽；所述柔性块还包括自所述柔性块后端面延伸出的两个凸出的受力块和一个可控制所述柔性块前端翘起和压下的调节杆，所述调节杆安装在所述两个受力块上。