| 发明名称 |
ATMOSPHERE REPLACEMENT PORT CONNECTING DEVICE FOR SUBSTRATE STORAGE VESSELS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1947679(A4) |
申请公布日期 |
2008.07.23 |
| 申请号 |
EP20040726253 |
申请日期 |
2004.04.07 |
| 申请人 |
RIGHT MFG. CO., LTD. |
发明人 |
NAGATA, TATSUHIKO;YOSHIMURA, TAKEHIKO |
| 分类号 |
H01L21/00;B65D81/20;B65D85/90;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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