硅微机械压力开关、制作方法及其应用

摘要

本发明涉及硅微机械压力开关、制作方法及其应用。其特征在于所述的压力开关包括上下两个电极，两电极间有二氧化硅作为绝缘层进行隔离，上电极包括空气腔，硅弹性薄膜，节流孔，框架；下电极包括导流孔。其特征在于湿法腐蚀硅可同时形成空气腔和硅弹性薄膜；所有结构都由硅材料构成，便于实现和制动电路的集成。使用了选择性很好的干法刻蚀形成节流孔和框架，能精确控制节流孔的尺寸。将所述的压力开关安装在每一个轮胎中，当轮胎爆胎后，该开关能迅速闭合，从而接通轮胎制动装置电路，使轮胎快速制动。

主权项

1.硅微机械压力开关，由上、下两电极组成，其特征在于封闭空气腔置于上电极中，上、下电极之间由绝缘层隔离，封闭空气腔的上部与硅上顶盖键合；封闭空气腔的下部与硅弹性薄膜相连，硅弹性薄膜上至少有一个节流孔；下电极上有一个导流孔，导流孔的位置与硅弹性薄膜的中心正对。