微机械角加速度传感器

摘要

本发明涉及了微机械角加速度传感器，主要包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁和两块与检测角加速度相关的检测极板，检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，导致质量块与检测极板之间的距离发生变化，最终导致检测极板与质量块之间的电容值发生变化，通过测试检测极板的电容变化量就可以判定被测角加速度的大小。具有结构简单，抗过载能力强，灵敏度和测量精度高的微机械角加速度传感器。

主权项

1.微机械角加速度传感器，包括一个悬浮质量块，两根连接悬浮质量块与固定端的梁，两块与检测角加速度相关的检测极板；检测极板与固定端固定，质量块与检测极板为电容的两个极；在连接质量块的梁上施加一个旋转的角加速度时，质量块将发生偏转，导致质量块与检测极板之间的距离发生变化，最终导致检测极板与质量块的电容值发生变化，通过测试检测极板的电容变化量，来判定被测角加速度的大小；其特征在于：所述的一个质量块上设有若干个方孔，对应于质量块上所设的方孔，检测极板上设有若干个叉齿，叉齿插入质量块上的方孔中间，增加了检测极板与质量块之间的电容值和电容变化量，提高了传感器的灵敏度。