发明名称 压电元件及其制造方法
摘要 一种具有改善之压电性能的叠层型压电元件。这类压电元件中,在压电体中布置振动电极,激发厚度振动的高次振动。所述压电元件包括平行四边形的压电陶瓷。压电陶瓷包括叠置的两个陶瓷压电层,并整体形成。每个压电陶瓷层包括陶瓷晶体颗粒,所述陶瓷晶体颗粒具有形状各向异性以及优先在一个平面内的自发极化。这个平面的面内方向垂直于陶瓷压电层的主平面。陶瓷压电层沿着同样的厚度方向极化。在陶瓷压电层之间以及陶瓷压电层的顶表面和底表面布置三个振动电极。
申请公布号 CN100405627C 申请公布日期 2008.07.23
申请号 CN03107397.2 申请日期 2003.03.25
申请人 株式会社村田制作所 发明人 小川弘纯;木村雅彦;林宏一;安藤阳
分类号 H01L41/00(2006.01);H01L41/22(2006.01) 主分类号 H01L41/00(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 陈瑞丰
主权项 1.一种制造压电元件的压电元件制造方法,包括如下步骤:制备陶瓷糊,所述陶瓷糊包括具有形状各向异性的陶瓷晶体颗粒以及陶瓷的原材料粉末或陶瓷材料的煅烧粉末;通过模制陶瓷糊形成板状模制品,并且所述模制品具有适于沿与厚度方向正交的方向极化的轴;将所述模制品沿与厚度方向接近平行的方向切割成条状;将切割的条状模制品粘成板状,粘接方式使切割表面不会彼此面对面接触;在粘成板状的模制品的切割表面上形成电极;通过将粘成板状的模制品层压而形成叠层体;通过烧制该叠层体形成烧制材料;以及通过向所述烧制材料沿与电极表面垂直的方向施加直流电场进行处理,使所述烧制材料沿与电极表面垂直的方向被极化;其中具有形状各向异性的陶瓷晶体颗粒成层状钙钛矿结构。
地址 日本京都府