微型反应器

摘要

本发明涉及在微型流体器件系统中所使用的微型反应器。该微型反应器由具备微型通道组成的流路、与该流路连接的反应器、把样品输送到该流路或与其连接的反应器内的注入口、从该反应器回收反应后的样品的送出口的第1基板，和该注入口以及/或者该送出口对应、形成有至少一个以上微泵的第2基板构成，该微泵具备：在内表面具有由陶瓷形成的腔室的基体、在该基体的外表面上形成的电极以及压电/电致伸缩层、至少2个以上的连接口，并且，第1基板和第2基板以该注入口以及/或者该送出口对应的方式粘贴在一起而一体化成形。

主权项

1.一种微型反应器，在具备由微型通道组成的流路、与该流路连接的反应器、把样品送入该流路或与该流路连接的反应器内的注入口、从该反应器回收反应后的样品的送出口的第1基板上，以该注入口以及/或者该送出口对应的方式，粘贴一体形成有至少一个以上微泵的第2基板而使其一体化，其特征在于，该微泵具备：基体；腔室，由陶瓷形成在所述基体的内表面；电极以及压电/电致伸缩层的压电/电致伸缩工作部，利用薄膜形成法形成在基体的外表面；至少2个以上的连接口，形成于所述腔室，通过由该压电/电致伸缩工作部在所述腔室内产生的压力，输送所述腔室内的样品。