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发明名称 VERTICALLY-INTEGRATED WAVEGUIDE PHOTODETECTOR APPARATUS AND RELATED COUPLING METHODS
摘要
申请公布号 EP1946160(A1) 申请公布日期 2008.07.23
申请号 EP20060771608 申请日期 2006.05.30
申请人 MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 发明人 AHN, DONGHWAN;LIU, JIFENG;MICHEL, JURGEN;KIMERLING, LIONEL, C.
分类号 G02B6/00;H01L31/00;H01L31/10 主分类号 G02B6/00
代理机构 代理人
主权项
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