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发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR RECYCLING SEMICONDUCTOR WAFERS HAVING LOW-K DIELECTRIC MATERIALS THEREON
摘要
申请公布号 EP1946358(A2) 申请公布日期 2008.07.23
申请号 EP20060850723 申请日期 2006.11.09
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 VISINTIN, PAMELA M.;JIANG, PING;KORZENSKI, MICHAEL B.;KING, MACKENZIE
分类号 H01L21/3213;C23F1/44 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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