摘要 |
PROCESSO PARA MODIFICAR CARACTERìSTICAS DE TENSãO DE DESLOCAMENTO DE UM MODULADOR INTERFEROMéTRICO Um modulador interferométrico fabricado de acordo com um conjunto especifico de parâmetros de processamento pode ter uma tensão deslocamento não zero. Um processo foi desenvolvido para modificar os parâmetros de processamento a fim de deslocar a tensão deslocamento não zero mais próximo a zero. Por exemplo, o processo pode envolver a identificação de um conjunto de parâmetros de processamento para fabricar um modulador interferométrico que resulta em uma tensão deslocamento não zero para o modulador interferométrico. O conjunto de parâmetros de processamento pode ser então modificado para deslocar a tensão deslocamento não zero mais próximo a zero. Por exemplo, a modificação do conjunto de parâmetros de processamento pode envolver a modificação de um ou mais parâmetros de depósito utilizados para fazer o modulador interferométrico, aplicação de uma corrente (por exemplo, uma corrente de neutralização) no modulador interferométrico, e/ou têmpera do modulador interferométrico. Moduladores interferométricos feitos de acordo com o conjunto de parâmetros de processamento modificados podem ter desempenho aperfeiçoado e/ou esquemas de acionamento mais simples.
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