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发明名称 SEMICONDUCTOR PHYSICAL QUANTITY SENSOR OF ELECTROSTATIC CAPACITANCE TYPE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100846529(B1) 申请公布日期 2008.07.15
申请号 KR20067021169 申请日期 2006.10.12
申请人 发明人
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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