发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR CMOS-HALBLEITER- BAUELEMENTE MIT WÄHLBAREN GATEDICKEN
摘要
申请公布号 AT400892(T) 申请公布日期 2008.07.15
申请号 AT20010204564T 申请日期 2001.11.26
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW 发明人 JURCZAK, MALGORZATA;AUGENDRE, EMMANUEL;ROOYACKERS, RITA;BADENES, GONCAL
分类号 H01L21/28;H01L21/3213;H01L21/3215;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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