发明名称 PACKAGE OF MEMS DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100846569(B1) 申请公布日期 2008.07.15
申请号 KR20060053624 申请日期 2006.06.14
申请人 发明人
分类号 B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
主权项
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