| 发明名称 | 一种制备氧化锌纳米结构的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于工艺步骤如下：(A)在沉积有种子层的衬底上涂敷一层光敏胶，然后利用光刻工艺在光敏胶上形成微孔；(B)将完成步骤(A)后的衬底置于生长溶液中，进行纳米结构的生长。利用该工艺方法，可成功地实现了多种氧化锌纳米结构的制作。与现有技术相比，本工艺方法具有工艺步骤简单可控的特点，制备出来的氧化锌纳米结构位置可控、直立有序、形貌均一，非常有利于器件的制作。 | ||
| 申请公布号 | CN101214989A | 申请公布日期 | 2008.07.09 |
| 申请号 | CN200710032889.1 | 申请日期 | 2007.12.28 |
| 申请人 | 中山大学 | 发明人 | 许宁生;佘峻聪;何浩;刘俊;邓少芝;陈军 |
| 分类号 | C01G9/02(2006.01);B82B3/00(2006.01) | 主分类号 | C01G9/02(2006.01) |
| 代理机构 | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 华辉 |
| 主权项 | 1.一种制备氧化锌纳米结构的方法，其特征在于工艺步骤如下：(A)在沉积有种子层的衬底上涂敷一层光敏胶，然后利用光刻工艺在光敏胶上形成微孔；(B)将完成步骤(A)后的衬底置于生长溶液中，进行纳米结构的生长。 | ||
| 地址 | 510275广东省广州市新港西路135号 | ||