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发明名称 ELECTROSTATIC DEFLECTION SYSTEM WITH IMPEDANCE MATCHING FOR HIGH POSITIONING ACCURACY
摘要
申请公布号 EP1941529(A2) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20060815310 申请日期 2006.09.26
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BULLER, BENYAMIN;DEVORE, WILLIAM J.;FROSIEN, JUERGEN;MIRRO, EUGENE, JR.;PEARCE-PERCY, HENRY;WINKLER, DIETER
分类号 H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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