制造平板显示器的方法和设备

摘要

一种制造平板显示器的方法，包括：将抗蚀剂分布在形成在基板上的薄膜上，通过照射第一光线改变该抗蚀剂的极性；在抗蚀剂的上表面一侧相距基板指定距离处提供具有突出表面和沟槽的软模，该软模被表面处理为与抗蚀剂相同的极性；进行软模和基板的第一和第二次对准；通过用第一光线照射改变抗蚀剂的极性，使得抗蚀剂移入软模的沟槽；通过将第二光线照射到沟槽中的抗蚀剂在薄膜上形成抗蚀剂图案；将软模从抗蚀剂图案分离；以及通过刻蚀薄膜的一部分和抗蚀剂图案形成薄膜图案。

主权项

1.一种平板显示器的制造方法，该方法包括以下步骤：将抗蚀剂分布在形成在基板上的薄膜上，通过照射第一光线改变所述抗蚀剂的极性；在抗蚀剂的上表面一侧相距基板指定距离处提供具有突出表面和沟槽的软模，所述软模被表面处理为与抗蚀剂相同的极性；进行所述软模和所述基板的第一次对准；进行所述软模和所述基板的第二次对准；通过用第一光线照射改变所述抗蚀剂的极性，使得所述抗蚀剂移入所述软模的沟槽；通过第二光线照射沟槽中的抗蚀剂在所述薄膜上形成抗蚀剂图案；将所述软模从所述抗蚀剂图案分离；以及通过刻蚀所述薄膜的一部分和抗蚀剂图案形成薄膜图案。