薄壁微结构零件研抛装置

摘要

薄壁微结构零件研抛装置，它涉及一种研抛装置。本发明解决了现有技术中微薄壁零件的变质层研抛主要由手工完成，效率低，而且成品率低，当大批量生产时，手工研抛无法满足要求的问题。下主轴套(3)固装在工作台(1)上的y轴电动工作台(1－2)上，上主轴套(2)固装在下主轴套(3)上，主轴(4)的一端置于上主轴套(2)与下主轴套(3)之间，主轴(4)的另一端与研抛头(5)固接，夹具(6)安装在工作台(1)的精密旋转台(1－4)上，电容传感器(7)安装在夹具(6)内。本发明提高了微薄壁零件变质层的研抛效率及成品率，具有无级调速、微量调整、显微测量、在线修正和接触感知的功能，可实现亚微米级的定位精度和毫牛级的力感知能力，从而可实现稳定可控的微米级材料去除。

主权项

1.薄壁微结构零件研抛装置，它由工作台(1)、上主轴套(2)、下主轴套(3)、主轴(4)、研抛头(5)、夹具(6)和电容传感器(7)组成；其特征在于下主轴套(3)固装在工作台(1)上的y轴电动工作台(1-2)上，上主轴套(2)固装在下主轴套(3)上，主轴(4)的一端置于上主轴套(2)与下主轴套(3)之间，主轴(4)的另一端与研抛头(5)固接，夹具(6)安装在工作台(1)的精密旋转台(1-4)上，电容传感器(7)安装在夹具(6)内。