发明名称 |
一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法,其特征在于:将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上,根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜,出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点;依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置,完成各个所需导光网点的刻蚀;刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后,再进行电铸,获得所需的光导薄膜模仁。本发明通过数字微反射镜输入导光网点形状,直接采用紫外激光在光刻胶干板上刻蚀导光网点,可快速进行网点设计评价和提供样品,提高模仁的制造品质,同时,该发明有利于制造大尺寸的光导板。 |
申请公布号 |
CN101216663A |
申请公布日期 |
2008.07.09 |
申请号 |
CN200810019237.9 |
申请日期 |
2008.01.17 |
申请人 |
陈林森 |
发明人 |
陈林森 |
分类号 |
G03F5/02(2006.01);G03F7/00(2006.01);H01S5/00(2006.01);G02B6/00(2006.01) |
主分类号 |
G03F5/02(2006.01) |
代理机构 |
苏州创元专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
陶海锋 |
主权项 |
1.一种背光模组精密光导薄膜模仁制造方法,其特征在于:将紫外激光束经扩束、准直照在数字微反射镜上,根据待制作的导光网点形状控制数字微反射镜,出射光通过含有4F光路的投影光学系统在紫外光刻胶干板表面刻蚀导光网点;依次改变出射光与光刻胶干板的相对位置,完成各个所需导光网点的刻蚀;刻蚀后的光刻胶干板经表面金属化处理后,再进行电铸,获得所需的光导薄膜模仁。 |
地址 |
215021江苏省苏州市苏州工业园区都市花园54-301 |