多环联结形均压槽气体静压导轨

摘要

本发明公开了一种多环联结形均压槽气体静压导轨。在气体静压导轨的一个工作面上，开设2个或3个相切的等径的圆环形均压槽，与其相配合的气体静压导轨的另一个工作面为平面，均压槽所在工作面上开有一个节流孔。采用本发明能使导轨气膜振幅降低至传统气体静压导轨气膜振幅的80％以下。本发明适用于精密气体静压导轨，尤其适用于超精密、纳米气体静压导轨。

主权项

1.一种多环联结形均压槽气体静压导轨，其特征在于：在气体静压导轨的一个工作面上，开设2个相切的等径的圆环形均压槽，在两个圆环相切的切点上设有一个直径小于1毫米的节流孔，与其相配合的气体静压导轨的另一个工作面为平面。