膜粘贴方法及膜粘贴装置

摘要

本发明的课题为一种实现微小的磨损粉及尘埃不会落到基板的表面上、成品率不会降低的膜粘贴方法。其解决课题的方案为：配备有对应于膜前端的前端吸附板，对应于前端之外的膜的区域的吸附板，通过使吸附膜的吸附板沿铅直方向竖立，将基板在铅直方向并且向吸附板侧以规定的量倾斜地加以保持，在将压接辊压紧到膜前端位置上的状态下，使压接辊移动到铅直方向下侧，从膜的前端一直到末端，在将膜与基板的角度保持在恒定的状态下，利用压接辊将膜粘贴到基板上。

主权项

1.一种膜粘贴方法，包括基板和片状的膜，所述膜具有与前述基板相称的大小且将一个面作为粘贴面，所述膜粘贴方法用于剥离设置在前述膜的粘结面上的保护膜，粘贴到前述基板上，其特征在于，保持前述基板，沿着大致铅直方向载置前述基板，利用前端部吸附板和吸附板保持前述膜，使之与前述基板相对向，将前端部对准位置之后，利用设置在前述吸附板侧的压接辊加压接合，在保持由前述压接辊加压的状态下，通过将前述吸附板移动到铅直方向的下侧，将前述膜粘贴到前述基板上。