线宽测量装置

摘要

本发明涉及对线宽或尺寸等进行测量或检查的装置，尤其涉及多摄像头方式的测量或检查的装置。随着被测对象物的大型化，由于其质量、静电等的影响，移动被测对象物本身很困难，强制性的定位动作困难，定位动作不良经常发生。为了减少这种定位动作不良，作为装置需要具有复杂顺序的定位机构和动作顺序。本发明的线宽测量装置是使用所摄像的图像的校准方式，即，不是物理地对基片等被测对象物进行定位，而是根据所摄像的相机图像来测量被测对象物(试样)的搭载位置，进行观察定位的校正。因此，本发明具有用于对摄像装置的头部进行位置校正的微动轴机构和校正控制机构。

主权项

1.一种线宽测量装置，具有：多个摄像头部，能够对试样的一部分进行放大摄像，能够分别单独地沿着移动轴移动；以及操作机构，用于改变上述试样的位置；该线宽测量装置具有对所摄像的图像进行图像处理的功能，具有利用计算机程序使上述操作机构动作的控制机构，根据上述所摄像的图像对上述试样的尺寸进行测量，其特征在于，该线宽测量装置具有：用于对试样的搭载位置偏差进行校正的、使摄像头部沿着与上述移动轴垂直的方向移动的移动微动机构；控制上述移动微动机构的微动机构控制机构；以及对试样的搭载偏差进行测量和校正的位置校正机构；该线宽测量装置以一个摄像头部为基准，使其他摄像头部的位置移动，对图像取得位置进行校正。