发明名称 |
一种提高氮化镓(GaN)基半导体材料发光效率的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种可提高氮化镓(GaN)基半导体材料发光效率的方法。该方法是在GaN基半导体材料生长完成后进行,其步骤是向生长完成后的半导体材料注入离子,然后对注入离子后的半导体材料进行热处理。具体是对GaN基材料中的发光区域InGaN/GaN多量子阱层进行一定剂量的质子注入,然后采用快速热退火方式达到增加GaN基半导体材料发光效率的目的。本发明所需采用工艺均属目前微电子的常规工艺技术,实施方法简便。本发明有效地提高了GaN基半导体材料的发光性能,特别是蓝光二极管材料的发光效率,扩大了其在军事和民用等领域的应用范围。 |
申请公布号 |
CN100401542C |
申请公布日期 |
2008.07.09 |
申请号 |
CN200510095658.6 |
申请日期 |
2005.11.17 |
申请人 |
淮阴师范学院;上海蓝宝光电材料有限公司 |
发明人 |
陈贵宾;夏长生;王少伟;陆卫;周均铭;陈明法 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01) |
代理机构 |
淮安市科文知识产权事务所 |
代理人 |
陈静巧 |
主权项 |
1.一种提高氮化镓(GaN)基半导体材料发光效率的方法,是在GaN基半导体材料生长完成后进行,其步骤(一)是向生长完成后的半导体材料注入离子;步骤(二)是对注入离子后的半导体材料进行热处理,其特征在于:向生长完成后的半导体材料注入的离子主要分布在InGaN/GaN多量子阱层发光区域中,注入的离子为质子。 |
地址 |
223001江苏省淮安市交通路71号 |