离轴测量系统参考标记有效距离的标定方法

摘要

本发明提供了一种离轴测量系统中参考标记有效距离的标定方法。以y向参考标记有效距离为例，使用离轴测量系统的原有装置，通过将物料台旋转特定的角度Rz，多次测量其所对应物料x坐标位置获得平均值，根据参考标记有效距离gd.y和旋转角度、物料位置的几何关系公式见上式，利用测量参数的差值，抵消共有误差的方法，计算参考标记的有效距离。并且可以重复上述步骤获得平均值的方式消除随机误差的影响。使用本发明所述方法可以利用现有的离轴测量系统，有效精确的标定参考标记有效距离。

主权项

1.一种离轴测量系统参考标记有效距离的标定方法，用于离轴测量系统中参考标记有效距离的标定，其方法如下：(1)在测量现场建立离轴测量系统，确定参考标记模块的位置并加以固定，同时确定被测物料的位置并加以固定；(2)在参考标记模块上放置探测装置，并建立标记面的直角坐标系；(3)将一个带测量标记的被测物料放置在合适位置上，以标记面的坐标轴原点为圆心转动物料台一定角度R_z，重复测量此时的物料位置的x坐标获得其平均值(4)重复第3步骤，获得多个旋转角度及其对应的物料位置x坐标平均值；(5)任选两组旋转角度与其对应的物料位置x坐标平均值，利用它们之间的差值消除共有误差；(6)根据公式：$\mathrm{gd}.y=\frac{(\overline{\mathrm{pos}\_x_2}-\overline{\mathrm{pos}\_x_1})}{(R_z^2-R_z^1)}$计算出y向的参考标记有效距离gd.y；(7)重复第5步、第6步，计算获得y向的参考标记有效距离平均值(8)根据相同原理，变换坐标轴参数获得x向的参考标记有效距离平均值(9)储存标定结果，以备后续测量备用。