发明名称 Method for etching non-conductive substrate surfaces
摘要
申请公布号 EP1785507(A3) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20060017605 申请日期 2006.08.24
申请人 ENTHONE, INC. 发明人 SCHILDMANN, MARK PETER;PRINZ, ULRICH, DR.;KOENIGSHOFEN, ANDREAS, DR.
分类号 C23C18/22;C23C18/16 主分类号 C23C18/22
代理机构 代理人
主权项
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