发明名称 Device and method for controlling focussed electron beams
摘要
申请公布号 EP1249855(B1) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20010108868 申请日期 2001.04.09
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 ADAMEC, PAVEL;WINKLER, DIETER
分类号 H01J37/304;H01J37/073 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
主权项
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