发明名称
摘要
申请公布号 JP4113844(B2) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 JP20040009371 申请日期 2004.01.16
申请人 发明人
分类号 C23C14/30;H01J37/06 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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