细缝喷嘴和基板处理装置

摘要

一种细缝喷嘴，不受到各个细缝喷嘴的特性的影响，可使喷出口的开口间距均匀。在构成细缝喷嘴的第1主体部、第2主体部和垫板上设置有固定用螺纹孔组(第2螺纹孔组)、打开调整用螺纹孔组(调整用螺纹孔组)和关闭调整用螺纹孔组(调整用螺纹孔组)。将固定用螺栓拧入固定用螺纹孔组中，组装这些部件，然后，测定喷出口的开口间距。对应于该测定结果，在喷出口的开口间距窄于期望的值的位置，将调整螺钉拧入打开调整用螺纹孔组中，在大于期望的值的位置，将调整螺钉拧入关闭调整用螺纹孔组中。由此进行调整而使得喷出口的开口间距在Y轴方向上均匀化。

主权项

1.一种细缝喷嘴，从沿大致水平方向延伸的直线状的喷出口喷出规定的处理液，其特征在于，包括：沿大致水平方向延伸的长状的第1主体部；第2主体部，其与上述第1主体部相对向而配置，与上述第1主体部相互结合而形成沿大致水平方向延伸的长状的结合体；紧固装置，其设置于规定的排列线上，使上述第1主体部和上述第2主体部相互结合；调整装置，其设置于上述结合体的整个纵向上，调整上述喷出口的开口间距，在上述结合体中，在上述第1主体部和第2主体部的相对向面的一部分上形成有成为规定的处理液的流路的间隙空间，由该间隙空间的下方开口在上述细缝喷嘴上形成上述喷出口。