发明名称 用于在洁净室内封闭容器的高压设备
摘要 本发明涉及借助于旋转对称的往复式活塞装置封闭容器的一种非常紧凑的设备和一种方法,该往复式活塞装置包括一个工作活塞、一个导向缸和一个工作容器,并且基本上通过在封闭容器中作为过程介质使用的相同的流体运行。其中工作活塞的端面至少部分地形成容器的封闭件或与封闭件刚性连接。在此,一种超临界的流体作为工作介质用于驱动活塞并且作为过程介质理想地使用。
申请公布号 CN100401462C 申请公布日期 2008.07.09
申请号 CN200380104156.4 申请日期 2003.11.13
申请人 乌德高压技术有限公司 发明人 C·吕特格;汉斯-奥托马尔·库尔茨
分类号 H01L21/00(2006.01);B01J3/00(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 谢志刚
主权项 1.一种用于在洁净室内封闭一封闭容器(8)的高压设备,该高压设备包括至少一个工作容器和一个工作活塞作并且具有一个在这两个部件之间的密封面,以及,该高压设备为了实施一种工艺过程可以被加载至少一种过程流体并且借助一个旋转对称的往复式活塞装置被驱动,该往复式活塞装置包括至少一个移动的旋转对称的工作活塞(1)与一导向缸(4),并且工作活塞(1)在位于导向缸(4)中的活塞端部上具有至少一个在外表面上径向环绕的增强部(3),使得在导向缸(4)和工作活塞(1)之间的内腔被分为至少一个下部的缸空腔(12)和一个上部的缸空腔(13),并且在导向缸(4)中至少各一个孔(5、6)通向这些缸空腔(12、13)中的每一个缸空腔,并且这些孔(5、6)直接地或经由管道(24、25)与至少一个对导向缸(4)缸空腔(12、13)的输入和排出进行控制的调节单元(20)连接,其特征在于:-用于驱动工作活塞(1)的流体与在压力容器(8)中使用的流体的主要成分是相同的,并且流体或者是超临界的气体或者是易挥发的介质;-其中,工作活塞的端面至少部分地与压力容器或者与容器的封闭件刚性地连接,并且这个封闭件相对于工作活塞同样基本上沿旋转轴线移动,并且压力容器设置在工作活塞端面的对面,并且工作活塞的底面大于工作容器和工作容器的工作活塞之间的压紧面,以及-滑动面(14、15、16)中的至少一个滑动面具有一个高于60%的支承比,这些滑动面定义为在工作容器内壁和工作活塞外壁之间的相接触和滑动的表面中的表面并且这些滑动面存在至少一次,以及,这些滑动面在缸内表面和活塞表面上定位在缸表面和活塞表面相互接触地对置且平行于旋转轴线相互移动的那些区域内,其中所述支承比为表面结构中凸出部分和凹下部分的比值。
地址 德国哈根