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发明名称 METHOD OF FORMING GATE INSULATING FILM, STORAGE MEDIUM AND COMPUTER PROGRAM
摘要
申请公布号 EP1742273(A4) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20050728581 申请日期 2005.04.11
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 TAKAHASHI, TSUYOSHI;SHIMOMURA, KOUJI;NAKAMURA, GENJI;AOYAMA, SHINTARO;YAMAZAKI, KAZUYOSHI
分类号 H01L29/78;C23C16/40;C23C16/42;C23C16/56;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/51 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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