| 发明名称 | 一种消除设备模拟量干扰的监测方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明所述的一种消除设备模拟量干扰的监测方法和装置，对检测到的设备的模拟电压信号进行阻容RC滤波消除高频的噪声干扰信号；然后，采集滤波消除高频的干扰后的模拟电压信号，并对所述的模拟电压信号进行数字滤波，在频域中采用数字正交滤波算法，消除模拟电压信号中的噪声干扰信号；最后，利用电压和待监测数值之间的关系得到设备当前的状态。而且为了保证在有用信号很小时也能很好地完成监测工作，还可以对滤波消除高频的干扰后的模拟电压信号进行有选择的放大，来提高后续的采样精度。消除了模拟信号的干扰，能准确的监测设备的当前状态。保证操作者对设备的状态判断准确，确保工艺过程的正确进行。 | ||
| 申请公布号 | CN101216993A | 申请公布日期 | 2008.07.09 |
| 申请号 | CN200710063230.2 | 申请日期 | 2007.01.04 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 武小娟 |
| 分类号 | G08C19/02(2006.01);G08C19/00(2006.01);G05B19/048(2006.01) | 主分类号 | G08C19/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑立明;王连军 |
| 主权项 | 1.一种消除设备模拟量干扰的监测方法，其特征在于，包括：A、对检测到的设备的模拟电压信号进行阻容RC滤波消除高频的噪声干扰信号；B、采集滤波消除高频的干扰后的模拟电压信号，并对所述的模拟电压信号进行数字滤波，在频域中采用数字正交滤波算法，消除模拟电压信号中的噪声干扰信号；C、利用电压和待监测数值之间的关系得到设备当前的状态。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5座2楼 | ||