梭动件及其基板传送方法

摘要

本发明公开了一种阻止大型基板在重力作用下下陷或者滑动的梭动件。该梭动件包括主体；支撑基板侧部的支承销；设置在主体的侧部，可在轴向旋转且在左右方向上移动的梭臂。支承销分别与梭臂连接。一对中心支架支撑基板侧的没有被支承销支撑的中心部分。中心支架在前后方向上可移动地结合到主框架上。驱动单元使梭臂在左右方向上移动和旋转。该驱动单元利用主框架在前后方向上移动中心支架。将真空装置组件提供给各支承销以通过真空力安全地固定基板。

主权项

1.一种梭动件，包括：主体；多个第一和第二支承销，用于支撑基板的相对侧；第一和第二梭臂，设置于第一和第二梭臂主体的相对侧，可在轴向旋转并在左右方向上移动，所述第一和第二支承销分别与所述第一和第二梭臂接合；一对中心支架，用于支撑没有被第一个第二支承销支撑的基板侧部的中心部分；主框架，与中心支架在前后方向上移动接合；驱动单元，在左右方向上使第一和第二梭臂移动和旋转，并且利用主框架在前后方向上移动中心支架；和真空装置组件，设置于各第一和第二支承销，通过真空力固定基板。