processo para a fabricação de uma estrutra de cabeçote de ejeção de micro-fluido

摘要

PROCESSO PARA A FABRICAçãO DE UMA ESTRUTURA DE CABEçOTE DE EJEçãO DE MICRO-FLUIDO A presente invenção refere-se a uma superfície do dispositivo de um substrato é secada por atomização com um material polimérico (por exemplo, um fotorresistente) para prover uma camada revestida com pulverização na superfície do substrato. A camada revestida com pulverização tem uma espessura variando de cerca de 0,5 a cerca de 20 mícrons. Aspectos de fluxo são formados (por exemplo, reproduzidos em imagem e revelados) na camada revestida com pulverização. Uma camada de placa de bico é aplicada na camada revestida com pulverização. A camada de placa de bico tem uma espessura variando de cerca de 5 a cerca de 40 mícrons e contém furos de bico formados nela para prover a estrutura do cabeçote de ejeção de microfluido.