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发明名称 Processing chamber with optical window cleaned using process gas
摘要
申请公布号 KR100844298(B1) 申请公布日期 2008.07.07
申请号 KR20067023659 申请日期 2006.11.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/302;G01B11/00;G02B7/00;H01L21/205;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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