| 发明名称 |
PROCEDE ET APPAREIL DE METROLOGIE ELLIPSOMETRIQUE POUR ECHANTILLON CONTENU DANS UNE CHAMBRE OU ANALOGUE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2809491(B1) |
申请公布日期 |
2008.07.04 |
| 申请号 |
FR20000006771 |
申请日期 |
2000.05.26 |
| 申请人 |
PRODUCTION RECHERCHES APPLIQUEES |
发明人 |
STEHLE JEAN LOUIS;BOHER PIERRE |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/21;G01J4/04;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
