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发明名称 Analyse-System und Teilchenstrahlgerät
摘要
申请公布号 DE602005006967(D1) 申请公布日期 2008.07.03
申请号 DE200560006967T 申请日期 2005.03.17
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FROSIEN, JUERGEN;LANIO, STEFAN
分类号 H01J37/244;G01R31/305;H01J37/05;H01J49/48 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
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