发明名称 |
Chuck with integrated wafer support |
摘要 |
An improved chuck with lift pins within a probe station.
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申请公布号 |
US2008157796(A1) |
申请公布日期 |
2008.07.03 |
申请号 |
US20080075385 |
申请日期 |
2008.03.10 |
申请人 |
ANDREWS PETER;FROEMKE BRAD;DUNKLEE JOHN |
发明人 |
ANDREWS PETER;FROEMKE BRAD;DUNKLEE JOHN |
分类号 |
G01R31/28;G01R1/04;G01R31/02;G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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