发明名称 Vorrichtung zur chargenweisen Vakuumbeschichtung von Gegenständen
摘要
申请公布号 DE60226718(D1) 申请公布日期 2008.07.03
申请号 DE20026026718 申请日期 2002.07.08
申请人 GALILEO VACUUM SYSTEMS S.R.L. 发明人 FANFANI, STEFANO
分类号 C23C14/50;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
地址