Belichtungsverfahren sowie Projektions-Belichtungssystem zur Ausführung des Verfahrens,申请号DE20036021241-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Belichtungsverfahren sowie Projektions-Belichtungssystem zur Ausführung des Verfahrens
摘要
申请公布号	DE60321241(D1)	申请公布日期	2008.07.03
申请号	DE20036021241	申请日期	2003.10.29
申请人	CARL ZEISS SMT AG	发明人	GRUNER, TORALF;KRAEHMER, DANIEL;TOTZECK, MICHAEL;WANGLER, JOHANNES;BROTSACK, MARKUS;DIECKMANN, NILS;GOEHNERMEIER, AKSEL;SCHWAB, MARKUS
分类号	G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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