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发明名称 Substratträger
摘要
申请公布号 DE502004007214(D1) 申请公布日期 2008.07.03
申请号 DE200450007214T 申请日期 2004.11.24
申请人 SINGULUS TECHNOLOGIES AG 发明人 KEMPF, STEFAN;MERZ, THOMAS;RUNKEL, STEFFEN DR.
分类号 B65G49/07;C23C16/458;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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