Herstellungsverfahren für eine Kontaktstruktur,申请号DE19976038705-传众专利搜索

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发明名称	Herstellungsverfahren für eine Kontaktstruktur
摘要
申请公布号	DE69738705(D1)	申请公布日期	2008.07.03
申请号	DE19976038705	申请日期	1997.12.19
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP.	发明人	GRECO, NANCY ANNE;GRECO, STEPHEN EDWARD;WAGNER, TINA JANE
分类号	H01L21/28;H01L21/768	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
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