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经营范围
发明名称
Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Strukturelementes und Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号
DE112006001228(A5)
申请公布日期
2008.07.03
申请号
DE200611001228T
申请日期
2006.05.19
申请人
AUSTRIAMICROSYSTEMS AG
发明人
SCHRANK, FRANZ
分类号
B81C1/00
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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